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・接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。・化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。・濃縮機などの化学機器。・半導体製造装置。・製薬機械。・薬品処理後の乾燥。・真空乾燥機、連結乾燥機・排気速度(L/min)50/60Hz:200/240・到達圧力(Pa):0.67・電源(V):三相200・全幅(mm):170.0・全長(mm):509.5・全高(mm):241.1・サーマルプロテクタ付:○・使用油:SO-M・吸気口径:KF-25・寸法(mm):170.0×509.5×241.1・2段排気方式・一台から異電圧に別作対応・ケミカルタイプ・真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。・特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。・大気圧近くでの連続運転には不適当です。・腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。当社管理番号363-1460
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・接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
・化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
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・半導体製造装置。
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・真空乾燥機、連結乾燥機
・排気速度(L/min)50/60Hz:200/240
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